Авторы |
Тимур Олегович Зинченко, инженер кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), scar0243@gmail.com
Екатерина Анатольевна Печерская, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия,г. Пенза, ул. Красная, 40),pea1@list.ru
|
Аннотация |
Актуальность и цели. Объектом исследования является информационно-измерительная и управляющая система синтеза прозрачных проводящих оксидов. Предметом исследования является аппаратная часть информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов. Цель работы – осуществить измерение, контроль и управление температурой синтеза прозрачных проводящих оксидов. Материалы и методы. Аппаратная часть информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов позволяет осуществлять измерение и контроль температуры подложки, на которой формируется покрытие. Программное обеспечение разработано в среде графического программирования LabView. Система синтеза прозрачных проводящих оксидов основана на использовании метода спрей-пиролиза. Результаты. Разработана аппаратная часть информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов, которая включает канал измерения температуры под-ложки, содержит блок стабилизации и управления температурой, который имеет два режима управления: ручной и автоматизированный. Выводы. Предложенная структура информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов позволяет эффективно управлять процессом синтеза прозрачных проводящих оксидов методом спрей-пиролиза в автоматизированном либо ручном режиме.
|